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敏感元件是(shi)能夠靈敏地(dì)感受被測變(bian)量并作出響(xiǎng)應的元件。如(rú):彈性膜盒能(néng)感受壓力的(de)高低而引起(qǐ)形變,形變的(de)程度就是對(duì)壓力高低的(de)響應,因此,彈(dàn)性膜盒是一(yī)種壓力敏感(gǎn)元件。
傳感器(qi)不但應該對(duì)被測量敏感(gan),而且具有把(bǎ)它對被測量(liàng)🎯的響應傳送(sòng)出去的功能(néng)。也就是說,傳(chuan)感器不隻是(shi)一般的🚩敏感(gǎn)元件🈲,它的輸(shū)出響應還必(bì)須是易于傳(chuán)送的物理量(liàng)。例如:上訴的(de)彈性膜盒的(de)輸出響應是(shi)形變,是微小(xiao)的幾何量,不(bu)便于向遠方(fang)傳送。如果把(bǎ)膜盒✍️中心的(de)位移轉變爲(wei)電容🥰極闆的(de)間隙變化,就(jiu)成爲🔞輸出響(xiǎng)應是電容量(liàng)的
壓力傳感(gǎn)器。
由于電信(xin)号便于傳送(sòng),所以絕大多(duō)數傳感器的(de)輸出是電量(liàng)的形式,如電(dian)壓、電流、電阻(zǔ)、電感、電容、頻(pin)率等。
變送器(qì)是從傳感器(qì)發展而來的(de),凡能輸出标(biāo)準信号的傳(chuán)🆚感器就稱爲(wèi)變送器。(标準(zhun)信号是物理(lǐ)量的形式和(hé)數值範圍都(dōu)🏃♀️符合标準的(de)信号。例如直(zhi)流4~20mA)有了統一(yi)的信号形式(shì)和數值範🌏圍(wéi),就便🈲于把各(ge)種變送器和(he)其他儀表組(zǔ)🔴成檢測系👣統(tǒng)或調節系統(tong)。
輸出爲非标(biāo)準信号的傳(chuán)感器,必須和(hé)儀表或裝置(zhi)配套,才能實(shi)現檢測或調(diao)節功能。爲了(le)通用性和靈(ling)活性,某些傳(chuán)感器的輸出(chu)❌可以靠轉換(huàn)器把非标準(zhun)信号轉換成(cheng)标🌍準信号,使(shǐ)之與🔴帶有标(biāo)準信号的輸(shū)入電路或接(jiē)口的儀⁉️表配(pei)套。不同的标(biāo)準信号也可(kě)🌈借助于轉換(huan)器互相轉換(huàn)。例如利用氣(qì)/電轉換器,能(neng)把20~100 kPa的空氣壓(yā)力轉換成0~10mA的(de)直流電流。
位(wèi)式作用和連(lián)續作用:
位式(shi)作用,也稱爲(wei)開關作用,即(ji)傳感器在輸(shu)入變量整個(ge)變化範圍内(nei)其輸出相應(yīng)隻有兩種狀(zhuàng)态,例如空氣(qi)狀态的“高”和(he)“低”。
位式作用(yong)的傳感器多(duo)用于被測變(biàn)量的超限報(bào)警、連鎖保護(hù)、順序控制。例(li)如我們的壓(ya)力開關。
需要(yao)連續檢測或(huò)調節某些變(biàn)量時,就必須(xu)用連續作用(yòng)的💔傳感器或(huo)變送器。
長野(yě)的變送器中(zhōng)所使用的傳(chuán)感器SS—蒸發型(xíng)半導體✔️應變(bian)片的特點:
(1)相(xiang)對于粘貼式(shì)和擴散式技(ji)術。
(2)其可測壓(yā)力範圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具有(you)耐用性和穩(wěn)定性。
半導體(tǐ)應變片的制(zhì)作方法:粘貼(tiē)方式、蒸發方(fāng)式、擴散方式(shi)。
長野的變送(song)器,如KM31、KM10 等,其半(ban)導體應變片(piàn)部分、感應元(yuán)件(不鏽鋼隔(gé)膜)以及壓力(li)接口部分通(tong)過焊接連接(jiē)成一體,具🔆有(you)很高的穩定(ding)性和可靠性(xìng),抗震性和抗(kàng)沖擊性良好(hǎo)。
蒸發式半導(dǎo)體應變片的(de)具體制作方(fang)式如下:
(1)在不(bú)鏽鋼隔膜上(shang)使用CVD等離子(zi)沉澱一層SiO2絕(jué)緣膜
(2)在SiO2絕緣(yuan)膜上再沉澱(diàn)一層多晶矽(xī)。
(3)在多晶矽上(shàng)使用激光蝕(shí)刻,應變片成(cheng)型 。
(4)用電子束(shù)照射蒸鍍,配(pei)上金制電極(jí)。
(5)再使用CVD等離(lí)子沉澱一層(céng)SiNx保護膜。
根據(jù)傳感器或變(bian)送器的安裝(zhuang)場所有無易(yì)燃易爆氣體(ti)及危險程度(du),選擇隔爆型(xing)及本安型。
(1)隔(ge)爆型在内部(bu)電路和周圍(wéi)易燃氣體之(zhī)間采取了隔(ge)離措施,允♈許(xu)使用在有一(yi)定危險性的(de)環境裏 。
(2)本安(an)型即本質安(ān)全型的簡稱(chēng),依靠設計的(de)電路保證在(zai)正常工作及(ji)故障(意外短(duan)路或斷路)狀(zhuàng)态下都不會(huì)引起🏃🏻♂️燃爆事(shi)故,可用在十(shí)分易燃易爆(bao)的場所。
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