摘(zhāi)要：金屬(shu)轉子流(liú)量計 作(zuo)爲面積(jī)式流量(liàng)計的一(yi)種，具有(you)簡單、直(zhí)觀、對介(jie)質條件(jian)要求低(di)等特點(diǎn)，使其在(zai)高溫高(gāo)壓、強腐(fǔ)蝕介質(zhi)♍等惡劣(lie)流量測(cè)量環境(jìng)下被廣(guang)泛使用(yòng)，因此對(dui)流量計(jì)的維護(hu)保養成(chéng)爲保證(zheng)測量數(shù)據客觀(guan)準确的(de)重要手(shou)段。尤其(qi)是金屬(shǔ)轉子表(biǎo)面附着(zhe)物直接(jie)影響了(le)測量精(jīng)度，對金(jīn)屬轉子(zǐ)的清洗(xi)成爲流(liú)‼️量計維(wéi)護保養(yǎng)的重要(yào)環節。本(ben)文着重(zhòng)讨論等(deng)金屬流(liú)量計葉(ye)片清洗(xi)方法🏃🏻及(jí)等離子(zǐ)清洗技(jì)術清洗(xi)🌈轉子葉(yè)片的可(kě)操作性(xing)。
　　金屬轉(zhuan)子流量(liàng)計的使(shi)用較爲(wei)廣泛，在(zai)易燃、易(yì)爆、高溫(wēn)、高壓和(hé)強腐蝕(shi)介質環(huan)境中都(dou)可使用(yong)。由于測(cè)量檢測(cè)環境惡(è)劣，爲保(bǎo)證測量(liang)精度，流(liú)量計在(zai)投用前(qian)準備、使(shi)用中的(de)☂️維護和(hé)停用後(hou)‼️需進行(háng)清洗保(bao)養。對轉(zhuǎn)子這種(zhong)微小精(jing)密部件(jiàn)的清洗(xi)通常使(shǐ)用化學(xue)試劑清(qīng)洗法及(ji)電磁感(gǎn)應法。試(shi)劑清洗(xi)易産生(shēng)化學反(fan)應效應(ying)，電磁感(gan)應法則(ze)産生電(diàn)化學現(xian)象、極化(hua)電勢和(hé)觸媒作(zuo)⛷️用，都會(huì)影響流(liú)量計的(de)測量精(jīng)度甚至(zhì)産生二(èr)次污染(ran)破壞流(liu)量計[1]。
　　等(děng)離子清(qing)洗是一(yī)種全新(xīn)的高科(ke)技技術(shu)，利用等(deng)離子體(ti)轟擊被(bei)清洗物(wù)表面來(lai)達到常(chang)規清洗(xǐ)方法無(wu)法達到(dào)的效果(guǒ)。等離子(zǐ)清洗在(zài)橡膠塑(su)料、汽車(chē)、電子、醫(yi)療、紡織(zhi)纖維乃(nǎi)至航空(kōng)航天領(ling)域已得(de)到廣泛(fan)使🏃用。本(ben)文将結(jié)合等離(li)子清洗(xi)的優勢(shi)特點，讨(tǎo)論等離(li)🐇子清洗(xi)轉子葉(ye)片的可(kě)行性及(jí)技術優(you)勢，爲維(wéi)護金屬(shu)轉子流(liu)量🧑🏾‍🤝‍🧑🏼計📧提(tí)供安全(quan)實用的(de)方式方(fang)法[2]。
1流量(liang)計量技(jì)術及流(liú)量計
　　能(neng)量轉換(huan)是一切(qiē)生産過(guò)程和科(kē)學實驗(yàn)的基礎(chu)，流量和(hé)壓㊙️力、溫(wen)度并列(liè)稱爲三(san)大檢測(cè)參數。對(duì)于已知(zhī)流體，隻(zhi)要掌握(wo)這三個(gè)參數就(jiù)可通過(guò)計算得(dé)出其具(jù)有的能(néng)量，所以(yǐ)在能量(liang)轉換的(de)測量中(zhong)必須準(zhun)确測量(liang)這三個(ge)參數。因(yin)此流量(liàng)計🐅和壓(ya)力、溫度(dù)儀表一(yi)樣成爲(wèi)非常重(zhong)要的應(ying)用。
1.1流量(liang)計現狀(zhuang)、分類與(yu)常用術(shù)語
　　測量(liàng)流體流(liu)量的儀(yí)器爲流(liu)量計，可(ke)測量流(liú)量的體(ti)積和質(zhì)🔱量。進入(rù)新世紀(ji)，由于工(gong)業發展(zhan)對能量(liang)計算🐅的(de)需求急(ji)劇增長(zhǎng)，促使流(liú)量儀表(biao)在測量(liàng)原理逐(zhu)漸成熟(shu)背景下(xia)發展出(chu)多種類(lèi)型穩定(ding)可靠的(de)産品。
　　傳(chuan)統流量(liang)計有 差(chà)壓式流(liú)量計 、容(róng)積式流(liú)量計、 浮(fú)子流量(liàng)計 、葉輪(lun)式流量(liàng)計以及(ji)插入式(shì)流量計(jì)。新型流(liú)量計有(yǒu) 超聲波(bo)流量計(jì) 、流體振(zhèn)動流量(liang)計、科裏(li)奧利質(zhi)量流量(liàng)計、熱式(shi)流量🍓計(jì)、電磁流(liú)🈲量計等(děng)。雖然現(xian)有流量(liàng)計種類(lei)衆多并(bing)各具特(te)點，但是(shi)研發一(yī)💚種适應(ying)所有測(ce)量需求(qiu)的流量(liang)計依然(ran)是業界(jiè)💰追求的(de)目标[3]。
　　流(liú)量計常(cháng)用術語(yu)有流量(liàng)範圍、儀(yí)表系數(shu)、流量系(xì)數、壓力(lì)損失、線(xian)性度、誤(wù)差與精(jing)度、重複(fú)精度。
1.2轉(zhuǎn)子流量(liàng)計結構(gou)
　　轉子流(liú)量計主(zhu)要由表(biǎo)頭與主(zhu)體兩部(bu)分組成(chéng)，主體結(jié)構如㊙️圖(tú)1所㊙️示。

1.3轉子流(liu)量計工(gong)作原理(lǐ)及誤差(chà)特性
　　轉(zhuǎn)子流量(liàng)計一部(bu)分是由(you)下至上(shang)逐漸擴(kuo)大的錐(zhuī)管，另一(yī)部🌈分是(shì)錐管中(zhōng)可以上(shang)下自由(you)移動的(de)轉子。工(gong)作中被(bèi)測流體(tǐ)經錐管(guǎn)下端流(liú)入沖擊(jī)轉子所(suǒ)産生的(de)作用力(li)将轉子(zǐ)托起升(sheng)高。同時(shí)，被測流(liu)體流經(jing)錐形管(guǎn)壁間的(de)環形斷(duàn)面，從上(shàng)端流出(chū)。轉子受(shou)力處于(yu)平衡狀(zhuàng)态停留(liu)在某一(yi)高🌈度位(wèi)置與所(suǒ)通過的(de)流量有(yǒu)相對應(yīng)的關系(xi)。所以，通(tōng)過觀🌏測(cè)轉子在(zài)錐形♻️管(guǎn)中的位(wèi)置來🍉求(qiu)得當時(shí)的流量(liang)值。
流量(liang)計基本(ben)誤差表(biao)示爲：由(yóu)于實測(cè)時V是未(wèi)知的，所(suǒ)以常用(yong)相對誤(wu)差來表(biǎo)示：

　　V=Nv式中(zhong)I流量計(jì)示值；V實(shi)際通過(guò)流量計(jì)值；N計量(liàng)元件旋(xuán)轉次數(shù)；v每🏃‍♂️轉一(yi)周排除(chú)流體體(tǐ)積。
2流量(liàng)計維護(hù)
　　流量計(ji)的維護(hù)中對儀(yí)器設備(bèi)元件的(de)清洗是(shi)保證其(qí)㊙️正常工(gōng)作的重(zhòng)要手段(duàn)。安全的(de)維護保(bǎo)養工作(zuò)可保證(zhèng)儀器的(de)測㊙️量精(jīng)度，延長(zhang)使用壽(shòu)命，減少(shǎo)對工作(zuò)、自然環(huan)境污染(ran)。
2.1等離子(zǐ)清洗技(ji)術
　　等離(lí)子清洗(xi)plasmacleaner也叫等(děng)離子表(biǎo)面處理(li)。等離子(zǐ)體是物(wù)🔅質🌂的第(dì)㊙️四态，不(bu)同于物(wù)質的固(gù)液汽三(sān)态，等離(lí)子體包(bao)括離子(zi)📧、電子🔱、原(yuán)子、活性(xìng)基團、激(jī)發态的(de)核素(亞(yà)穩态)、光(guang)子等。等(děng)離子清(qing)洗即是(shi)利用這(zhè)些活性(xìng)組分來(lái)處理清(qīng)洗物表(biǎo)面，實現(xian)清潔、塗(tu)覆、改性(xìng)、光刻膠(jiāo)灰化的(de)目的。其(qi)工🔞作原(yuan)理是在(zài)真空腔(qiāng)室中，射(she)頻電源(yuán)在壓力(lì)下起輝(hui)産生無(wu)序的高(gāo)能🐪量等(deng)離子體(tǐ)轟擊被(bei)清洗物(wu)體表面(miàn)。
　　清洗結(jié)構由控(kong)制單元(yuan)、真空腔(qiang)及真空(kōng)泵組成(chéng)。其中控(kòng)制電源(yuan)🛀🏻頻率有(you)40KHz、13.56MHz、2.45GHz三種，系(xi)統控制(zhi)有半自(zì)動控制(zhi)、電腦控(kòng)🏃‍♂️制、PLC控制(zhi)。真❓空腔(qiāng)由不鏽(xiu)鋼及石(shí)英腔兩(liǎng)種材質(zhi)📧，真空泵(beng)也分幹(gan)泵和油(yóu)泵兩種(zhong)。
2.2等離子(zǐ)清洗技(ji)術優勢(shì)
⑴經等離(li)子清洗(xǐ)後被清(qing)洗物是(shi)幹燥的(de)，無需像(xiàng)其它清(qīng)洗方法(fa)再進行(hang)幹燥處(chu)理，提高(gao)效率。⑵使(shǐ)操作者(zhe)遠離有(you)害試劑(ji)的危害(hai)🈲，降低對(dui)環境的(de)污染。⑶避(bi)免濕法(fǎ)清洗的(de)直接接(jie)觸使微(wēi)小精密(mì)部件破(po)🐕損變形(xíng)。⑷等離子(zi)體的無(wu)序性使(shǐ)它可以(yi)深入清(qīng)洗微細(xì)孔眼及(ji)凹陷部(bù)位，對清(qing)洗物形(xíng)狀沒有(you)要求且(qiě)清洗效(xiao)果優于(yu)試劑清(qīng)洗。⑸工藝(yi)流程短(duǎn)，隻有幾(jǐ)🐆分鍾，極(jí)大提高(gāo)☎️效率。⑹工(gong)作真空(kong)條件約(yue)🥰100Pa，容易達(dá)到要求(qiu)，設備成(cheng)本低性(xing)價比💜高(gao)于有機(ji)溶劑洗(xǐ)✔️發。⑺适用(yong)材料廣(guǎng)泛😄，金屬(shu)、半導體(ti)、氧化物(wù)、聚氯乙(yi)烯、聚四(sì)氟乙烯(xī)、聚酰亞(yà)胺、聚酯(zhi)、環氧樹(shu)脂等高(gao)聚物都(dou)可以适(shi)用等離(lí)子體處(chu)理。⑻可改(gai)善材料(liao)表面性(xing)能，提高(gāo)潤濕性(xìng)和膜粘(zhān)着力等(děng)。
2.3等離子(zi)清洗技(ji)術應用(yòng)
　　清洗設(she)備産生(sheng)的等離(li)子體在(zai)真空環(huan)境下的(de)活性能(néng)量幾乎(hu)❌破🚶‍♀️壞所(suǒ)有的化(hua)學鍵，在(zai)所有暴(bao)露表面(miàn)引起化(hua)學反應(ying)。清洗過(guò)🐇程中，無(wu)機氣體(tǐ)被激發(fa)爲等離(li)子态，氣(qi)🎯相物質(zhi)吸附在(zai)固體表(biao)面，被吸(xī)🥰附基團(tuán)與固體(tǐ)表面分(fèn)🔱子解析(xī)形成氣(qì)相，反應(yīng)殘餘物(wu)脫離表(biǎo)面。
　　實驗(yan)中，金屬(shu)轉子葉(yè)片上的(de)水、泥附(fu)着物徹(che)底得到(dao)清除，去(qù)除表面(miàn)難揮發(fā)油污，提(ti)高了表(biao)面活性(xing)。通過測(cè)量，轉子(zǐ)的重量(liang)、顯微形(xíng)狀、表面(mian)平整度(dù)都沒有(you)明顯變(bian)化。使用(yòng)效果全(quán)方位優(you)于💜試劑(jì)清🌏洗法(fǎ)。
3結語
　　等(děng)離子清(qīng)洗技術(shu)在橡膠(jiāo)行業應(yīng)用也非(fēi)常成熟(shú)，實驗中(zhōng)借鑒其(qi)它行業(ye)領域的(de)應用經(jīng)驗，解決(jue)了清洗(xǐ)🥵金屬🍓轉(zhuǎn)子🏃🏻‍♂️流量(liàng)計體積(jī)小、形狀(zhuàng)特殊、易(yi)腐蝕變(biàn)形等💜難(nán)題。使清(qīng)洗轉子(zi)葉片達(da)到高效(xiào)、簡單、安(ān)全的目(mù)的。使離(li)子清洗(xi)技術的(de)🍉應用更(gèng)加普及(ji)并拓寬(kuān)了範圍(wéi)。

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