摘要:讨論了(le)金屬管浮子(zǐ)流量計 加裝(zhuāng)阻尼器在多(duō)晶矽生産中(zhong)的應用方案(àn),并對流🙇🏻量計(jì)💋使用阻尼器(qì)前後的效果(guo)作了對比。
1金(jīn)屬管浮子流(liú)量計的工作(zuò)原理及一般(ban)應用
　　轉子流(liú)量計 ,又稱浮(fu)子流量計,金(jin)屬浮子流量(liang)計由于其結(jie)構簡單，可靠(kào)性♈強,可輸出(chu)标準信号,并(bìng)能實現流量(liang)的指示、積算(suan)、記錄.控🤞制和(he)報警等多種(zhong)功能,所以在(zài)工，業生産中(zhong)😍被廣泛♻️應用(yong)。
1.1金屬管浮子(zi)流量計的工(gōng)作原理
　　金屬(shǔ)管浮子流量(liàng)計采用可變(biàn)面積式測量(liàng)原理。llj 主♋要由(you)🏃‍♀️三部分🌈組成(chéng):測量管、浮子(zǐ).耦合指示系(xì)統。如原理圖(tu)所示,相對應(yīng)測量介質的(de)某--流量。磁性(xing)浮子在測量(liàng)管中對應💋一(yī)個浮子位置(zhi).這個浮子位(wèi)置通過指示(shi)器中的經過(guò)充磁的磁耦(ou)合指示系統(tong)帶動指針,由(yóu)刻度盤🚶和指(zhi)針讀出♊相應(ying)的流量計。也(ye)可配裝😍不同(tong)的轉換器.将(jiang)流量值轉換(huàn)成标準的電(diàn)遠傳信号,從(cóng)而實現遠距(ju)離顯示、記錄(lu)、積算和控制(zhi)功能。金屬管(guǎn)轉子流量計(jì)在🔴耦合指示(shi)系統的設✍️計(ji)上可以爲各(ge)種應用場合(hé)提供🙇‍♀️可靠适(shi)用的功能組(zu)合,如現場指(zhi)針顯示、LCD顯示(shì)瞬時和累計(jì)流量等。在指(zhǐ)示器供🌂電選(xuǎn)擇方面💃有電(diàn)池供電🤩、24VDC供電(diàn)、220VAC供電,方式根(gen)據現場💜情況(kuàng)選擇。
 
1.2金屬管(guǎn)浮子流量計(jì)的一般應用(yòng)
　　工業上常用(yong)的流量計除(chu)了金屬轉了(le)流量計外，還(hái)有 差壓流量(liàng)計 、 渦街流量(liàng)計 、 電磁流量(liàng)計 、 超聲波流(liú)量計 、 渦輪流(liú)量計 、 橢圓齒(chǐ)輪流量計 等(deng)。每種流量計(jì)在針對不同(tóng)的被測流體(tǐ)、不同的流動(dòng)狀态、不🍉同的(de)測量場所,各(gè)有其優勢和(hé)劣勢.比如♈在(zài)流速不同的(de)㊙️場合中,中高(gāo)流速下的流(liu)量測量已🏃🏻有(yǒu)孔闆.渦街等(deng)多種流量計(jì)能夠實現正(zhèng)确測量,而👨‍❤️‍👨在(zài)較低流速、較(jiao)高壓力的流(liú)量測量中,尤(yóu)其低雷諾♍系(xì)數的情況下(xià).金屬管浮子(zǐ)流盤計就起(qǐ)到非常重要(yào)的作用。
 
2金屬(shǔ)管浮子流量(liang)計加裝阻尼(ni)器在多晶矽(xī)生産中的應(yīng)用
2.1阻尼器的(de)工作原理
　　使(shǐ)自由振動衰(shuāi)減的各種摩(mo)擦和其他阻(zu)礙作用，我💋們(men)🌈稱之💔爲阻尼(ní)。而可以提供(gong)運動的阻力(lì),耗碰運動能(neng)量的裝🌐置,我(wo)們稱爲阻尼(ni)器。目前各種(zhǒng)應用中有:彈(dan)貧阻尼器、液(ye)壓阻尼器、粘(zhān)滞阻尼器.氣(qì)阻尼器、電磁(cí)阻尼器等。
2.2金(jīn)屬管浮子流(liu)量計在使用(yong)中出現的問(wen)題
　　轉子流量(liàng)計在多晶矽(xi)生産現場使(shǐ)用過程中,由(yóu)于測量👅介質(zhì)瞬間流量過(guo)小或不穩定(ding)、操作壓力低(dī)或不穩定,儀(yi)🌈表前後測量(liàng)管道内徑變(bian)化過大，前後(hou)直管段嚴重(zhòng)不符合使用(yong)規定要⛱️求，尤(yóu)其是測量介(jiè)質🐇爲氣體等(deng)情況下會造(zao)成流量計測(ce)量管内介質(zhi)流動極不穩(wěn)定🌈,引起浮子(zǐ)發生跳動的(de)現象。浮子的(de)垂直上下直(zhi)線運動通過(guo)磁耦合💋系統(tǒng)傳遞、傳化爲(wèi)指針軸的轉(zhuan)動運行✔️,與指(zhi)針軸組合成(chéng)一-體的指針(zhen)轉動☁️從而擡(tai)示介質的瞬(shùn)時流量。流量(liàng)計測量管中(zhong)浮子發生的(de)跳動現象傳(chuán)遞給指針,就(jiù)變成爲指針(zhēn)連續不停頓(dùn)的擺動現象(xiang)，造成流量指(zhi)示不穩定,甚(shen)至🐆根本不能(neng)讀🧑🏽‍🤝‍🧑🏻取刻度值(zhí),确定瞬時流(liú)量數值。如果(guo)現😘場出現這(zhè)種現象,通常(cháng)的處理🌐方法(fǎ)是分析造成(chéng)指針擺動的(de)⛱️主要原因,多(duō)數情況下🈲從(cong)多晶矽生産(chǎn)工藝上采取(qǔ)措施,改善介(jie)質流動狀況(kuang),從而減少、避(bi)免指針的擺(bǎi)動。但是很多(duō)時候指🤞針擺(bai)動的頻率、幅(fu)度很難從根(gen)本.上避免、降(jiang)低。
2.3氣阻尼器(qi)在金屬管浮(fú)子流量計中(zhong)的應用
　　在儀(yí)表測量管中(zhong)加裝氣阻尼(ni)器成爲解決(jué)浮子跳動,指(zhǐ)針擺動的有(you)效方法之一(yi)。該裝置包括(kuo)氣阻尼頭與(yǔ)氣阻尼套,二(èr)者✊爲間隙配(pei)合,二者間形(xíng)成的腔體中(zhong)充滿測量🧑🏽‍🤝‍🧑🏻介(jiè)質,當浮子向(xiang)上或向下運(yun)動時,測量介(jie)質必須排出(chu)或進人腔體(tǐ),由于阻尼頭(tóu)與阻尼套之(zhi)間間隙很小(xiǎo)，測量介質排(pai)出或進人腔(qiang)體的速度滞(zhì)後于浮子🛀向(xiàng).上或向下運(yùn)💋動的速度.從(cong)而🏃‍♀️起到阻尼(ni)效果,降低.浮(fu)💜子向.上或向(xiang)下運動的速(su)度,過低指針(zhen)擺動的頻率(lǜ)、幅🐅度。
2.3.1氣阻尼(ni)器使用中需(xu)要注意的問(wèn)題。
　　現有阻尼(ní)裝置中的氣(qì)阻尼頭與阻(zu)尼套之間的(de)配合爲面接(jie)💞觸.與流量計(jì)測量管與介(jie)質流動極不(bú)穩定,引起浮(fu)子發生跳動(dong),加之加工誤(wu)差,常會使氣(qi)阻尼頭随🍉浮(fu)子導向.杆産(chan)生偏移.導緻(zhì)氣阻尼頭過(guo)快的磨損，嚴(yán)重時使氣阻(zu)尼套卡住,影(ying)響阻尼效果(guo),縮🎯短氣阻尼(ni)裝🈲置的使用(yong)壽命。
2.3.2解決方(fāng)案。
　　爲了解決(jue)可能存在的(de)不足,可采用(yong)了以下新技(jì)術。改變㊙️氣阻(zǔ)尼頭與氣阻(zǔ)尼套之間的(de)配合方式,使(shǐ)之配合的表(biǎo)面形狀爲球(qiu)面,球面的圓(yuán)心在氣阻尼(ni)頭✨與氣阻尼(ni)套配🙇🏻合的中(zhong)軸線上,使氣(qì)阻尼頭與氣(qì)阻尼套之間(jian)的配合爲線(xiàn)性接觸🈲。當氣(qì)阻尼㊙️頭随浮(fú)子🈲導向杆産(chan)生偏移時,氣(qì)阻尼頭與氣(qì)阻❗尼套之間(jian)的配合始終(zhōng)是🧑🏾‍🤝‍🧑🏼線接觸，既(jì)可防止氣阻(zǔ)尼頭與氣阻(zǔ)尼套卡住.義(yi)使氣阻尼頭(tou)磨🐇損平均,延(yan)長了氣阻尼(ni)裝置使用壽(shou)命。
 
2.4電磁阻尼(ní)器在金屬管(guan)浮子流量計(jì)中的應用
　　由(yóu)于轉子流量(liàng)計的測量管(guan)爲機械結構(gou).測量時對波(bō)動很敏感,經(jīng)常會出現指(zhi)針波動嚴重(zhong),甚至影響讀(du)數的情況。除(chu)了在測量管(guǎn)中加裝氣阻(zǔ)尼器之外,還(hái)可以在指針(zhēn)組件中增加(jia)電磁阻尼器(qì),使指針擺💋動(dong)的頻率、幅度(dù)大幅度降低(dī)，使指針指示(shì)💋穩定，刻度值(zhi)讀取變得容(rong)易，讀取精度(dù)更高。
　　電磁阻(zǔ)尼器的工作(zuò)原理。電磁阻(zǔ)尼器由磁鋼(gāng)、連接件🌈、金屬(shu)闆等組裝後(hou)爲一體。指針(zhen)的配重爲導(dǎo)電金屬鋁合(he)金,根據電磁(ci)感應定律,配(pei)重在磁場中(zhong)運動，切割磁(ci)力線.必然産(chǎn)生感應電動(dong)勢,從而在配(pèi)重中産生渦(wō)電流;磁場對(duì)帶電導體必(bi)然産生作用(yong)力,而♈此作用(yòng)力恰好起到(dào)阻礙配重在(zai)磁場中運動(dòng)的作♋用,配重(zhòng)運動的速度(du)越大,産生的(de)反作用也越(yuè)♉大,其效果類(lei)似于阻尼器(qì),從而使電磁(ci)阻尼器起到(dao)降低指針擺(bǎi)動頻率、幅度(dù)的作用.達到(dào)穩定👄的效果(guo)。
 
　　與現有技術(shù)相比，通過增(zeng)加電磁阻尼(ní)器裝置,可有(you)效🌈改善流量(liàng)計的使用效(xiào)果，使指針的(de)擺動頻率和(hé)幅度大幅度(du)降低，指針穩(wěn)定指示,刻度(dù)值的讀取變(biàn)得容易，讀取(qǔ)精💁度提高,既(jì)提高了效率(lǜ)也保證了精(jīng)🥰度。

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