摘要(yào):基于熱(re)傳遞原(yuán)理,設計(ji)了一種(zhǒng)大量程(cheng)氣體流(liu)量傳感(gǎn)器。 采🐕用(yòng)FLUENT進行結(jie)構的仿(pang)真.結合(he)權重法(fǎ)确定傳(chuán)感器的(de)結構模(mó)型。研究(jiu)了傳感(gǎn)元件的(de)溫度特(te)性.确定(dìng)了傳感(gǎn)器的工(gōng)作狀态(tai)。設計了(le)傳感電(dian)路,對傳(chuan)✊感器進(jin)行✌️了自(zì)動溫度(du)補償。測(ce)量中采(cǎi)用兩種(zhǒng)不同的(de)測量原(yuán)理.使傳(chuán)感器能(neng)夠檢測(ce)微小流(liu)量和中(zhong)、大流量(liàng).提高了(le)💞傳📐感器(qi)的測量(liang)範圍。實(shí)驗結果(guǒ)表明該(gāi)傳感器(qi)測㊙️量流(liú)量量程(chéng)爲0.14 m'/h~ 130 m'/h,測量(liàng)誤差🌐優(yōu)于1.5%。
熱式(shì)氣體流(liu)量傳感(gan)器是利(li)用熱傳(chuan)遞原理(lǐ)實現對(duì)氣體質(zhi)量流量(liang)的直接(jie)測👉量㊙️",其(qí)按結構(gou)可分爲(wei)熱分布(bù)型和浸(jìn)人型。熱(rè)分布🍉式(shì)型氣體(tǐ)流量傳(chuan)感器可(kě)測量低(dī)流速微(wēi)小流量(liàng)鬥;浸人(rén)型氣體(ti)流量傳(chuán)感器主(zhǔ)要應用(yòng)于中、大(da)管徑的(de)較高流(liu)速測量(liang),而對于(yú)低流速(su)氣體的(de)測量精(jing)度和靈(líng)敏度都(dou)較低。采(cǎi)用5個熱(rè)電阻PT1000 集(ji)成于同(tóng)-基片的(de)傳感元(yuan)件,通過(guo)傳感電(dian)路設計(jì),使㊙️得氣(qi)體流量(liang)傳感器(qi)在小流(liú)量時采(cǎi)用熱分(fen)布型測(ce)量原理(lǐ),在大流(liu)量測量(liang)時采用(yong)浸人式(shì)測量原(yuán)理,從而(ér)實現了(le)流量的(de)大量程(chéng)測量。同(tong)時,由于(yu)該傳感(gan)器放置(zhi)在管✨道(dao)内部,因(yīn)此傳感(gan)元件周(zhou)圍的流(liu)場及流(liú)👄速大小(xiao)将較大(dà)影響流(liu)量♌測量(liàng)的性能(neng)。因此，首(shou)先對🈲傳(chuán)感器結(jié)構進行(hang)仿真,通(tong)過.Solidworks軟件(jiàn)設計傳(chuán)感器的(de)9種結構(gòu)模型引(yǐn),采用FLUENT仿(páng)真技術(shù)獲得不(bú)🔴同傳感(gan)器結構(gòu)模型的(de)管内流(liú)場等🔴速(sù)線水平(píng)剖面圖(tú)及管内(nei)傳感元(yuán)件截面(mian)的面平(ping)均速度(dù),并結🍓合(hé)權重法(fa)對仿真(zhēn)數據進(jin)行處理(li),确定傳(chuan)感器🧑🏾🤝🧑🏼系(xì)統結構(gou)模型。然(rán)後研究(jiu)了傳感(gan)器的溫(wen)度特性(xìng)[4],設計了(le)傳感測(cè)量電路(lù),實現對(duì)氣體在(zai)大量程(chéng)範圍内(nei)流量正(zheng)确的測(cè)量。
1測量(liang)原理
氣(qi)體流量(liang)傳感器(qi)是在不(bú)同流量(liàng)段分别(bie)采用熱(re)分布型(xing)🈲和浸🛀🏻人(rén)型的測(cè)量原理(li)。熱式氣(qi)體傳感(gǎn)器的傳(chuán)感元件(jiàn)置于管(guǎn)道中心(xīn)[5]，傳感元(yuan)件如圖(tu)1所示。管(guan)道中沒(méi)有氣體(tǐ)通過時(shi),管道内(nèi)的溫度(dù)場是對(duì)稱的。熱(rè)電阻R.、R。、R、R, ,作(zuò)爲熱☎️源(yuan)和溫度(du)傳感器(qì),R。用于氣(qi)體介質(zhi)溫度的(de)☎️測量。當(dāng)有微小(xiǎo)氣體流(liu)過時,上(shang)遊熱電(diàn)阻R.R,的溫(wēn)度下降(jiang)比下遊(you)熱電阻(zu)R、R,明顯,氣(qì)體将上(shang)遊的熱(rè)量帶到(dào)下遊,引(yin)起3管道(dào)内部溫(wen)度場變(bian)化61,則氣(qi)體的質(zhi)量流量(liang)
式中E爲(wei)單位時(shí)間内輸(shu)出流量(liàng)計的電(dian)功率,c,爲(wei)被測氣(qì)體的比(bi)定壓熱(rè)容,ΔT爲上(shang)下遊溫(wen)差
随着(zhe)氣體流(liu)速的增(zēng)加,氣體(tǐ)的流動(dong)引起熱(rè)電阻Rs1、Rs2. s3、Rs4、溫(wen)度的變(bian)化,電路(lu)提供給(gěi)四個電(diàn)阻的3電(diàn)功率等(deng)于氣體(tǐ)流動對(duì)熱換流(liu)帶走的(de)😍熱量,即(jí)
2熱式氣(qi)體傳感(gan)器系統(tong)結構的(de)設計
由(you)于傳感(gan)元件通(tōng)過圓柱(zhù)形支架(jia)固定在(zài)管道内(nei)部,圓📞柱(zhù)體開一(yi)🐪矩形孔(kong)用于傳(chuán)感元件(jiàn)測量氣(qi)體流量(liàng),見圖‼️2所(suo)示。傳感(gǎn)元件🛀🏻周(zhōu)圍🈲的流(liú)場對傳(chuán)感器的(de)靈敏度(du)和重複(fu)性影響(xiǎng)較大。同(tong)時,傳感(gan)器的壓(ya)損也是(shì)一個重(zhong)要的評(ping)價指标(biao)❄️。因此,需(xu)要對傳(chuán)感器開(kāi)孔尺寸(cùn)💘進行仿(páng)真研究(jiu),以獲得(dé)理想的(de)結構.
首(shou)先采用(yong)Solidworks軟件對(duì)氣體傳(chuán)感器模(mo)型進行(hang)建立,管(guǎn)道口徑(jìng)爲50 mm,管道(dao)長度爲(wèi)130 Imm,管道中(zhong)支架爲(wei)小圓柱(zhù)體,直徑(jing)爲12mm[7].
将網(wǎng)格文件(jiàn)導入FLUENT軟(ruan)件進行(hang)仿真并(bìng)保證各(gè)模型有(yǒu)相同的(de)邊界條(tiao)件,設定(ding)管道内(nèi)流體介(jiè)質爲空(kong)氣,人口(kǒu)速度取(qu)10 m/s,根據式(shi)(3)求出管(guan)道雷諾(nuò)數Re=337 84, 因此(cǐ)粘性模(mó)型爲k-epsilon。 爲(wei)了防止(zhi)壁面有(you)邊界層(ceng)使得流(liu)體粘附(fù)管道,壁(bì)面選擇(zé)Moving wall。
式中V爲(wèi)入口速(su)度,D爲管(guan)道直徑(jìng),η, 爲壓強(qiang)爲101.325 kPa、 溫度(dù)爲20 C的條(tiáo)件下空(kong)氣的運(yun)動黏度(dù)根據式(shì)(4)計算出(chū)湍流強(qiáng)度1=4.345%[8]。
氣體(tǐ)傳感器(qi)插入管(guǎn)道中測(ce)量氣體(ti)的流速(sù),會對氣(qì)體的流(liu)😍場有一(yī)定的擾(rǎo)動,不同(tóng)的傳感(gǎn)器模型(xing)對流場(chǎng)的🛀🏻擾動(dòng)也不🐪同(tong)[9]。因此需(xu)🤩對傳感(gan)器模型(xíng)的尺寸(cùn)進行設(shè)計仿真(zhen),選擇最(zui)佳模型(xing)。如圖2所(suo)示,傳感(gan)元件置(zhi)于管道(dao)中，傳感(gǎn)元件長(zhang)7 mm,寬2.4 mm,厚0.15 mm。設(shè)計矩形(xíng)孔的尺(chǐ)寸,1分别(bie)取3 mm、4 mm、5 mm,h分别(bié)取9 mm、10 mm、11 mm,共9種(zhǒng)模型,研(yan)究不同(tong)模型對(duì)流場産(chan)生的影(yǐng)響。
采用(yong)FLUENT軟件10-1]1分(fen)别對這(zhè)9種模型(xíng)設置相(xiàng)同的邊(biān)界條件(jian),進行數(shù)值模拟(nǐ)計算。分(fèn)别計算(suàn)傳感元(yuán)件不同(tóng)位置的(de)平均速(sù)度。選取(qǔ)傳感元(yuan)件中心(xin)截面的(de)編号爲(wèi)plane-5。按軸向(xiang)方向在(zai)plane-5前後分(fèn)别依次(ci)取5個截(jié)面,前面(mian)兩截面(miàn)平行距(ju)離🔞爲0.24 mm,分(fen)别編号(hao)爲plane-0, plane- 1, plane-2...共11個(gè)截面,如(rú)圖🙇♀️3所示(shì),這些截(jie)面上的(de)面平均(jun1)速度可(kě)通過數(shù)值計⭕算(suàn)獲得。
圖(tú)4所示爲(wèi)幾種矩(jǔ)形孔的(de)管内流(liu)場等速(su)線水平(ping)剖面圖(tu)
從圖4可(ke)以看出(chū),矩形孔(kong)的面積(jī)越大,傳(chuán)感器前(qian)後的漩(xuán)渦區越(yuè)小，流場(chang)分布均(jun1)勻,這是(shi)因爲矩(ju)形孔的(de)面積越(yue)♌大,對流(liú)體的阻(zǔ)礙作用(yong)越小,對(duì)管道内(nei)的流場(chang)影響越(yuè)小[12]圖5表(biao)示9種不(bú)同傳感(gan)器模型(xíng)🐕11 個截面(mian)的面平(ping)均速度(dù)❗分布圖(tú)。
從圖5可(ke)以看出(chū)，矩形孔(kǒng)的面積(jī)越小，其(qí)面平均(jun1)速度越(yuè)大,但對(duì)流體的(de)阻礙作(zuò)用變大(dà),使得流(liú)體的能(neng)量損失(shi)多。對于(yu)管🌏内的(de)㊙️傳感元(yuán)件,11個截(jie)面的面(miàn)平均速(su)度分布(bu)越穩定(dìng)，管内速(sù)度分布(bu)的變化(hua)越小,對(dui)流場的(de)擾動越(yue)💛小。由式(shi)(5)貝塞爾(ěr)公式🔱求(qiu)出标準(zhǔn)偏差,度(du)量數據(jù)分布的(de)分散程(cheng)度
式中(zhōng)v;分别爲(wèi)第i截面(mian)的面平(ping)均速度(dù),0爲11 個截(jié)面平均(jun)速度的(de)🌐平均值(zhí),n爲11。
表1爲(wèi)9種不同(tóng)傳感器(qi)模型的(de)0值、S值和(he)壓損，這(zhe)三個因(yīn)素決定(ding)了傳感(gan)器模型(xíng)的尺寸(cun)選擇,0值(zhí)越大則(ze)量程比(bǐ)越大,S值(zhí)💯和壓損(sǔn)越小則(ze)流體通(tong)過傳感(gan)器時損(sun)失的能(néng)量越小(xiao)，流體分(fèn)布也越(yuè)穩定。從(cóng)表1可以(yi)看出,矩(ju)🔅形孔的(de)面積越(yuè)大,值越(yue)小,而s值(zhí)和壓損(sǔn)越小。可(kě)以看出(chu)壓損最(zui)大值與(yǔ)最小值(zhi)相差約(yue)0.84 p,且對⛹🏻♀️傳(chuan)感器評(píng)定影響(xiang)不大，在(zài)🈲評定時(shi)可以忽(hū)略壓損(sǔn)這個因(yīn)素，因此(ci)可通過(guo)權重[1”]來(lai)評定0值(zhí)和S值在(zai)整體評(ping)價中的(de)相對重(zhong)要程度(dù),并根據(jù)式(6)計.算(suan)出綜合(hé)評價值(zhí),從而确(que)定傳感(gan)器的模(mó)型
式中(zhong)Vk爲綜合(hé)評價值(zhi),wk爲權重(zhong),xk爲各因(yīn)素的數(shu)值,k=1,2,3,4,5,6,7,8,9。
用算(suan)術平均(jun)法計算(suan)各因素(su)的平均(jun1)數x。和标(biāo)準差sk,根(gen)❄️據式(7)計(ji)算出各(gè)因素的(de)标準差(cha)系數,它(tā)反映各(ge)因素的(de)相對變(bian)異程度(dù)
根據式(shi)(7)、(8)計算出(chū)二個因(yīn)素的?k值(zhi)和wk值,并(bing)根據式(shì)(6)計算出(chu)9種模型(xíng)對應的(de)Vk 值,如表(biǎo)1所示口(kou)
根據表(biao)1的V,值,可(ke)以确定(dìng)寬3高9的(de)模型爲(wei)最佳模(mó)型。
3傳感(gan)元件溫(wēn)度特性(xìng)的研究(jiu)
氣體經(jīng)過傳感(gan)元件表(biǎo)面時會(huì)帶走熱(re)量從而(er)引起測(ce)量電路(lu)電壓信(xin)号的變(biàn)化,當傳(chuán)感元件(jian)上的熱(rè)電阻Rs1、Rs2、Rs3和(he)Rs4與氣體(ti)溫差較(jiao)小時,傳(chuan)感元件(jiàn)靈敏度(dù)會降低(dī),但電流(liú)🌈過大時(shí)♋會損壞(huai)傳感元(yuán)件并增(zeng)加電路(lù)的功耗(hao),因此需(xū)對傳感(gǎn)元件的(de)溫度特(tè)性進行(háng)研究4],圖(tú)6爲💜傳感(gǎn)元件溫(wēn)度特性(xing)研究實(shí)驗圖。
傳(chuán)感元件(jiàn)放置在(zài)溫度可(kě)調的恒(héng)溫箱中(zhōng),電路加(jia)恒定的(de)💯電壓10 V ,在(zài)不同的(de)工況條(tiáo)件下調(diao)節電位(wèi)器的大(dà)小使電(dian)流保持(chí)恒定👈,并(bing)測量傳(chuan)感元件(jian)的電壓(ya)V,然後計(jì)算傳感(gan)元件相(xiang)應電路(lu)的阻值(zhí)和工🐇作(zuo)溫度。實(shi)驗🔴中恒(heng)溫箱⛷️型(xing)号爲GHX高(gāo)溫恒溫(wen)試驗箱(xiang)，電壓由(yóu)可調直(zhi)流穩壓(ya)電源🎯提(tí)供,型号(hao)爲MPS- 3003L-3,電壓(ya)表型号(hào)爲VC9807A。首先(xian)從低到(dào)高調節(jiē)恒溫箱(xiang)溫度并(bìng)調節電(dian)位器大(dà)小使電(dian)流接近(jìn)于6.2 mA,同🚶♀️時(shí)測量對(dui)應溫度(du)下熱電(dian)阻兩端(duān)的電壓(yā)。在同一(yī)溫度記(ji)錄3個🍉數(shù)據,将這(zhè)三個數(shù)據平均(jun1)後計算(suan)出該溫(wen)度下熱(re)電阻的(de)阻值👈,同(tóng)時計算(suan)出傳👨❤️👨感(gǎn)元件的(de)工作溫(wen)度和環(huán)境溫差(cha)。實驗數(shu)據見表(biǎo)2所示。
從(cong)表2可以(yǐ)看出,在(zài)電流恒(heng)定時,環(huán)境溫度(du)越高,傳(chuán)感元⛱️件(jian)溫度也(yě)🏃♀️越高,但(dan)是與環(huan)境溫度(du)之間的(de)差值基(ji)本恒定(dìng)在100 C,此時(shí)傳感元(yuan)件靈敏(mǐn)度高且(qie)電流小(xiao)而不會(hui)對傳感(gan)元件造(zào)成損☂️壞(huài),以此作(zuo)爲設計(ji)測量電(diàn)路的依(yī)據。
4傳感(gǎn)電 路設(she)計
一種(zhǒng)新型的(de)流量傳(chuán)感電路(lù),如圖7所(suǒ)示。傳感(gǎn)元件由(you)熱電🛀阻(zǔ)R, R,R、R,、R.,構成，與(yu)精密電(dian)阻R2、R3、R.、Rs、R。構成(chéng)惠斯通(tong)電橋,該(gai)電路能(neng)實現溫(wēn)✏️度補⭕償(cháng),并能檢(jian)🔴測管道(dào)中氣體(ti)的方向(xiang)。電路中(zhong)精密電(diàn)阻R2與熱(rè)電阻R并(bing)聯不僅(jin)防止通(tong)過R..的電(diàn)❄️流過大(da),而♊且可(ke)提高💔溫(wēn)度補償(chang)的準确(que)度。爲了(le)使傳感(gan)元件輸(shū)出與氣(qì)體溫度(dù)無關的(de)穩定電(dian)壓,理想(xiang)情㊙️況下(xia)在任何(hé)環境溫(wen)度下應(yīng)滿🈲足式(shi)(9)。
工作時(shi)将氣體(tǐ)傳感器(qi)放入測(cè)量管道(dào)中心,當(dang)有微☂️小(xiǎo)氣體流(liu)😘過時，上(shàng)遊熱電(diàn)阻R,,、R..的溫(wen)度下降(jiàng)比下遊(yóu)熱電阻(zǔ)R，、R明顯,氣(qi)體将上(shang)遊的熱(re)量帶到(dao)下遊,熱(rè)電阻溫(wēn)度場變(bian)💛化引起(qi)電壓信(xin)号V2變化(hua)⭕,V2反應了(le)微小流(liú)速氣體(ti)的流量(liàng)。當管道(dào)中有中(zhōng)高流速(sù)氣體通(tōng)過時,熱(re)電阻R,、R,、R，、R.構(gou)成的熱(re)電阻R。的(de)熱量🈲被(bèi)氣體帶(dai)走而引(yǐn)起阻值(zhí)變化,從(cóng)而導緻(zhì)傳感電(dian)路的電(dian)流發生(sheng)變化,熱(rè)㊙️電阻✊R。用(yong)于溫度(dù)✏️補償。通(tōng)過測量(liang)✉️熱電阻(zǔ)R。R,.和精密(mì)電阻構(gòu)成的☀️惠(hui)斯通電(dian)橋的輸(shu)🈲出電壓(yā)V,即可反(fan)應此時(shí)管道中(zhōng)😍氣體的(de)流🐆量。
5氣(qi)體流量(liang)實驗研(yan)究
運用(yong)鍾罩式(shi)氣體流(liú)量标準(zhǔn)裝置進(jin)行氣體(tǐ)流量測(cè)試👄。裝☀️置(zhì)運🔞用鼓(gu)風機進(jìn)行鍾罩(zhao)的充氣(qì),三個閥(fá)門用于(yú)控🐆制氣(qì)體流💜動(dong)。該設備(bèi)的測量(liang)不确定(dìng)度爲0.5%，其(qí)能夠供(gòng)給的流(liú)量範圍(wéi)爲0~220 m'/h。設備(bèi)原理圖(tú)如圖8所(suo)示，實物(wù)圖如圖(tu)9所示
按(an)照表1的(de)仿真結(jie)果,本實(shí)驗選用(yong)評價值(zhi)相差較(jiao)大的兩(liang)個傳🤩感(gǎn)器進行(hang)實驗,即(jí)傳感器(qì)1和傳感(gan)器9,其對(dui)🔞應的開(kāi)孔尺寸(cùn)分别爲(wèi)寬3高9和(hé)寬5高11。
由(you)于不同(tóng)的流量(liang)範圍測(ce)量原理(lǐ)不同,流(liu)量測量(liang)實驗分(fen)爲2部分(fèn)🤟，其中小(xiǎo)流量的(de)測量範(fàn)圍爲0.405m'/h~2.841 m'/h。在(zai)不同的(de)流量點(dian)對輸出(chu)電壓V2進(jin)行三次(ci)測量，獲(huò)得流量(liàng)與平⛷️均(jun1)輸出電(dian)壓的關(guān)系曲線(xian)如圖10所(suǒ)示。傳感(gǎn)器1在小(xiǎo)流量測(ce)量中,不(bu)同流量(liang)與輸出(chu)電壓關(guān)系爲星(xing)形點,測(cè)量重複(fú)性最大(dà)值爲0.5%。傳(chuan)感🏃🏻♂️器9在(zai)小流量(liang)測量中(zhong),不同流(liú)量與輸(shū)出🈲電壓(ya)關系爲(wei)圓形點(diǎn),測量重(zhong)複性最(zui)大值爲(wèi)0.8%。比較傳(chuán)感器🐆1和(hé)傳感器(qì)9的輸出(chu)特性,可(kě)知傳感(gan)器9由于(yú)開孔略(lue)大,輸⚽出(chu)的電壓(ya)值略微(wei)偏小，而(ér)且重複(fu)性略大(da)✌️于傳感(gǎn)器1,與仿(páng)真的結(jié)果相同(tong)。
随着流(liú)量增加(jia),對傳感(gǎn)器在2.841 m'/h至(zhi)130.3 m'/h範圍内(nei)進行流(liú)量實驗(yan)。在不同(tong)的流量(liàng)點對輸(shu)出電壓(yā)V進行三(sān)次測量(liàng),獲得流(liú)量與平(ping)均輸出(chu)電壓的(de)關系曲(qu)線如圖(tu)11所示。傳(chuán)感器1的(de)不同流(liu)🌈量與輸(shū)出電壓(yā)關系爲(wèi)星形點(dian),測量💋重(zhong)複性最(zui)☁️大值爲(wei)0.5%。傳感器(qì)2的不同(tóng)流量與(yu)輸出電(diàn)壓關系(xì)爲圓形(xing)🎯點,測量(liang)重複性(xing)最大值(zhi)爲1%。如圖(tú)11可知傳(chuan)🌐感.器9的(de)輸出電(dian)☎️壓值略(luè)微偏小(xiǎo),與表1的(de)與仿真(zhen)的仿真(zhēn)數據相(xiang)吻合。
傳(chuán)感器1具(ju)有較好(hǎo)的輸出(chū)特性和(he)測量重(zhòng)複性,與(yu)仿真結(jié)果--緻🙇🏻。因(yīn)此,以下(xià)對傳感(gǎn)器1進行(hang)具體分(fen)析。
運用(yong)MATLAB拟合電(dian)壓與流(liu)量之間(jian)的關系(xì)公式[ 16],得(dé)到傳感(gǎn)器1的數(shu)據模型(xing):
式(10)和式(shi)(11)所示的(de)數學模(mó)型分别(bié)用于測(ce)量小流(liú)量和大(da)🥰流量。通(tōng)過拟合(hé)數值和(hé)輸出電(diàn)壓可計(ji)算得到(dao)最大偏(piān)差Amre由式(shi)(12)可計算(suàn)得到拟(nǐ)合Lmax誤差(cha)γYL°
其中ym爲(wèi)最大流(liú)量點的(de)電壓。在(zài)小流量(liang)時拟合(hé)誤差爲(wei)1.42%,而在大(da)流量時(shí)爲1.40%。由于(yu)傳感器(qi)1的重複(fú)性最大(da)值YR均爲(wei)0.5%,由式(13)可(ke)以♊計算(suan)得到測(ce)量誤差(cha).
由式(13)可(kě)得在小(xiǎo)流量範(fan)圍内最(zui)大測量(liàng)誤差.爲(wei)1.50% ,在大流(liú)量範💃圍(wei)内爲1.49%,由(yóu)此可認(ren)爲測量(liang)誤差爲(wei)1.50%。對造成(chéng)誤差的(de)主要✔️原(yuán)因有氣(qì)體擾🈲流(liú),流場分(fen)布和氣(qi)體濕度(du)等。另外(wai),傳感器(qi)的熱輻(fu)射和熱(rè)傳導同(tóng)樣會造(zào)成測量(liàng)誤差。
由(you)實驗可(kě)得,傳感(gǎn)器能夠(gou)在0.4 m'/h至130m'/h的(de)範圍内(nei)測量氣(qi)體🐪流量(liang),其重複(fu)性優于(yu)0.5% ,測量誤(wù)差爲1.5%。
6結(jie)論
熱分(fèn)布型和(hé)浸入型(xing)相結合(hé)的熱式(shì)流量測(ce)量方法(fa),設💯計了(le)一種大(da)量程氣(qi)體流量(liang)傳感器(qi)。通過FLUENT仿(pang)真技術(shù)和權重(zhong)法确定(dìng)最佳傳(chuán)感器的(de)結構模(mo)型，研究(jiū)傳感元(yuán)件的溫(wen)度特性(xing),提📞出了(le)氣體介(jie)質溫度(dù)的自動(dòng)補償方(fāng)法💘并設(shè)計流量(liàng)傳感電(dian)路。實驗(yan)結果表(biǎo)明,該傳(chuán)感器測(ce)量量程(cheng)爲0.4 m'/h~130n2/h,測量(liàng)誤差優(you)于1.5%,擴大(da)了熱式(shi)流量傳(chuán)感器的(de)流量測(cè)量範圍(wei)。
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